公开/公告号WO2020223011A1
专利类型
公开/公告日2020-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2020US28151
发明设计人 YU JENGYI;LIANG ANDREW;TAN SAMANTHA S.H.;YANG LIU;LIANG CHEN-WEI;VOLOSSKIY BORIS;WISE RICHARD;PAN YANG;LI DA;YUAN GE;
申请日2020-04-14
分类号H01L21/033;H01L21/311;H01L21/027;H01L21/02;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:08:44