法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/027 申请公布日:20141022 申请日:20130124
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-03-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20130124
实质审查的生效
2014-10-22
公开
公开
机译: 原子层沉积设备,使用原子层沉积设备的成膜方法以及原子层沉积设备的清洁方法
机译: 原子层沉积设备气体模块,原子层沉积设备和使用相同方法的原子层沉积方法
机译: 用于原子层沉积设备的气体模块,原子层沉积设备和使用相同方法的原子层沉积方法