公开/公告号CN113785381A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN202080032750.0
申请日2020-04-14
分类号H01L21/033(20060101);H01L21/311(20060101);H01L21/027(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人李献忠;张华
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:38:44
机译: 用于极端紫外线光刻抗蚀剂的原子层蚀刻和选择性沉积工艺
机译: 极紫外光刻技术的原子层刻蚀和选择性沉积工艺
机译: 用于光刻应用的光致抗蚀剂层的选择性沉积