机译:用于一维纳米通道制造的相移光刻上的光致抗蚀剂图案上的原子层沉积
ALD; near-held contact phase-shift lithography; nanochannel; nanotemplating; nanowire;
机译:用于一维纳米通道制造的相移光刻上的光致抗蚀剂图案上的原子层沉积
机译:用于超宽带光吸收的金属-绝缘体多层中的无序纳米孔图案:用于光刻的原子层沉积,无高度可重复的大规模多层生长
机译:反向纳米压印光刻和等离子增强原子层沉积法制备Al_2O_3涂层二维TiO_2纳米粒子光子晶体层
机译:通过FIB图案,湿法蚀刻和原子层沉积来无阻地制造嵌入式纳米通道
机译:通过原子层沉积制备银催化剂以及使用Operando表面增强拉曼光谱研究原子层沉积反应。
机译:用于超宽带光吸收的金属-绝缘体多层中的无序纳米孔图案:用于光刻的原子层沉积无高度可重复的大规模多层生长
机译:通过FIB图案,湿法蚀刻和原子层沉积来无阻地制造嵌入式纳米通道