一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法

摘要

一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具，所述内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：按照质量百分比，纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子水。以及提供一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具的制作方法，在去离子水中加入固化剂，并搅拌使其溶解，随后加入结合剂、纳米二氧化硅、钕化物等，将其搅拌均匀；将配置好的配料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整，保证磨具上下端面的平整度和平行度，得到内含钕化物的软质磨料固着磨具。本发明能够提高蓝宝石晶片的去除率并能降低粗糙度，提高加工效率、降低生产成本。