公开/公告号CN105910866B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院地质与地球物理研究所;
申请/专利号CN201610248068.0
申请日2016-04-20
分类号G01N1/28(20060101);G01N1/44(20060101);
代理机构11403 北京风雅颂专利代理有限公司;
代理人王安娜;李翔
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路19号
入库时间 2022-08-23 09:57:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-16
授权
授权
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20160420
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
机译: 用于溅射装置的铟靶以及用于制造这种铟靶的组件和方法
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