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氧化铟锡靶与铟的润湿性研究

             
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摘要

为了解决氧化铟锡靶与铟的不润湿,采用了一种特殊的方法,在ITO靶与铟熔体界面处,对铟熔体施加局部的高压处理,增加了ITO界面的亚微观缺陷,促进了In与ITO的渗透和交融,实现了ITO靶与铟的润湿和铺展,为ITO靶和Cu靶座的焊接奠定基础.

著录项

  • 来源
    《材料研究与应用 》 |2001年第2期|138-141|共4页
  • 作者

    顾子平; 袁镇海; 付志强; 林松盛; 黄剑锋; 郑健红;

  • 作者单位

    广州凯得控股有限公司,广东广州,510730;

    广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东广州,510651;

    广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东广州,510651;

    广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东广州,510651;

    广州三盛电子实业有限公司,广东广州,510730;

    广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东广州,510651;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 钎焊 ;
  • 关键词

    氧化铟锡 ; 溅射 ; 铟; 润湿 ; 焊接;

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