从ITO靶废料回收铟-锡合金的方法、氧化铟-氧化锡粉末的制造、及ITO靶的制造方法

摘要

本发明提供如下方法：在还原炉内利用还原气体对含有铟和锡的ITO靶废料进行还原，并在保持ITO中的金属成分的组成比的状态下回收作为ITO靶的原料的铟-锡合金。本发明提供如下技术：从制造ITO溅射靶时或使用ITO溅射靶后产生的含有高纯度氧化铟-锡的废料回收铟-锡合金，并且将其制成氧化铟-氧化锡粉末，然后以该氧化铟-氧化锡粉末作为原料制造ITO靶。即，将废料直接还原成合金，并在保持所得到的合金的组成的状态下用于制造ITO，由此简化制造工序中的组成的控制和调节。另外，使铟-锡的回收仅为氧化物的还原，由此使工序简化、与以往方法相比能够削减制造成本。此外，能够使副产物仅为水，因此能够抑制有害物质的处理、产生，因而能够降低对环境的负荷。