一种MEMS激光雷达用VCSEL光源和MEMS微执行器的集成结构

摘要

本发明提供了一种MEMS激光雷达用VCSEL光源和MEMS微执行器的集成结构。MEMS微执行器采用电磁驱动的单轴对称结构，即MEMS微执行器的承载面和外框的中心重合，且通过两个悬臂梁与外框连接；驱动线圈和VCSEL光源的键合锚点、引线焊接点均设置在承载面上；驱动线圈在通电状态下，受到固定磁场的磁力作用使得承载面绕悬臂梁扭转，进而相对于外框运动；VCSEL光源位于承载面的正中心位置，即悬臂梁的中心线和承载面纵向中心线相交的点；要求VCSEL光源和承载面的中心重合误差应在0～5μm。本申请能在一定程度上增加MEMS激光雷达的扫描角度；不涉及金属镜面的制备，进而规避金属镜面引入的组件稳定性问题。