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一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构

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《中国微米/纳米第六届学术年会》|2003年|371-374|共4页
会议地点太原
作者
缪旻; 肖志勇; 武国英; 金玉丰; 郝一龙;
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作者单位

北京大学;

中国电子科技集团公司;

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会议组织
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入库时间 2022-08-17 11:10:27

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