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缪旻; 肖志勇; 武国英; 金玉丰; 郝一龙;
北京大学微电子学研究院;
微电子机械系统; 射频MEMS; 移相器; 开关; 可变电容; 复合微桥膜; 微桥结构;
机译:非晶SiC作为基于微桥的RF MEMS开关中的结构层,用于软件定义的无线电
机译:用于RF MEMS电容开关和可变电容器的具有高抗静电性的智能双极驱动方法
机译:用于RF-MEMS开关的低残余应力的波纹桥
机译:用于开关式移相器的四锚RF-MEMS开关
机译:RF MEMS可变电容器移相器和预应力束开关的设计,制造和表征。
机译:用于开关双调谐RF线圈的MEMS开关和PIN二极管的比较
机译:用于开关线移相器的mEms,Ka波段单刀双掷(spDT)开关
机译:电子元件,可变电容器,微动开关,驱动微动开关的方法,MEMS型电子元件,微致动器和MEMS光学元件
机译:使用MEM RF开关的多位移相器
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