一种弹性微桥式RF MEMS开关

摘要

一种弹性微桥式RF MEMS开关，包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极，所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上，所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上，所述上电极分为驱动电极板和电容上极板，所述驱动电极板位于所述电容上极板两侧，所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接；所述弹性折叠梁一端与锚点连接，一端与驱动电极板侧面连接，所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个。通过优化上极板的支撑结构，有效地降低了微桥的弹性系数，从而降低电容式RF MEMS开关的驱动电压。实验证明，驱动电压可低于3V。