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季莅莅; 方玉明; 孜乃提古丽•布尔汉; 戚举; 艾昕晨;
南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,南京210023;
静电微执行器; 动态; Pull-in参数; ANSYS; 压膜阻尼效应;
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:结合硅波导和MEMS执行器的光路控制-用于波长选择开关的MEMS可变微环
机译:基于电磁微线的温度微传感器/微执行器在MEMS中的应用
机译:MEMS微加热器温度控制器动态特性分析技术
机译:基于MEMS执行器的电热微器件的设计,制造和表征。
机译:严重欠阻尼边缘场静电MEMS执行器的改善开关时间的实时直流动态偏置方法
机译:基于电子电路仿真器的非共振型超声波执行器动态特性分析
机译:polymEms执行器:基于聚合物的微机电(mEms)执行器,具有宏观作用
机译:轴承的动态特性测量装置,轴承的动态特性分析系统和动态特性分析方法
机译:3自由度MEMS-3自由度MEMS活塞管静电微执行器
机译:MEMS执行器,MEMS执行器驱动方法和MEMS执行器控制程序
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