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平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析

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对平行板式静电微执行器在不考虑边缘电容条件下和考虑边缘电容条件下进行动态理论分析.然后将不考虑边缘电容条件下的动态pull-in参数和考虑边缘电容条件下的动态pull-in参数进行比较,得到这两种条件动态下pull-in参数的不同以及平行板长度和宽度变化对考虑边缘电容下动态pull-in参数的影响.

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来源
《2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会》|2011年|351-355|共5页
会议地点昆明
作者
徐琳; 方玉明; 郄军建;
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作者单位

中国半导体行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类理论;
关键词
静电微执行器; 动态理论; 吸合现象; 边缘电容;

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