基于MEMS微镜扫描的VCSEL单发光点光源系统

摘要

本发明提供一种基于MEMS微镜扫描的VCSEL单发光点光源系统，其包括：单发光点VCSEL激光器以及MEMS微镜；单发光点VCSEL激光器包括：背面电极、衬底层、外延层、正面电极，正面电极、外延层、衬底层、背面电极自上而下依次层叠设置，MEMS微镜位于单发光点VCSEL激光器的出射光路上，MEMS微镜包括：反射镜以及驱动反射镜转动的驱动机构，反射镜具有第一转轴以及第二转轴，第一转轴与第二转轴相垂直。本发明通过MEMS微镜将单发光点VCSEL激光器发射的光线进行反射，快速地以点阵的方式投射到物体上，实现物体的成像，其避免了设置密集的激光器点阵。