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Conference on MOEMS and Miniaturized Systems
Conference on MOEMS and Miniaturized Systems
召开年:
2020
召开地:
San Francisco(US)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
Novel CMOS-integrated 512×320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
机译:
新型CMOS集成512×320倾斜微镜阵列及相关技术平台
作者:
A. Gehner
;
S. Doering
;
D. Rudloff
;
D. Kunze
;
P. Duerr
;
S. Frances
;
L. Haensel
;
H. Torlee
;
A. Elgner
;
M. Eckert
;
M. Friedrichs
;
J. Heber
;
J. Schmidt
;
W. Pufe
;
C. Hohle
;
M. Schulze
;
M. Wagner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
SLM;
MOEMs;
micro mirror arrays;
tip-tilt actuator;
surface micromachining;
CMOS integration;
2.
Design Framework for High-Speed 3D Scanning Tools and Development of an Axial Focusing Micromirror-Based Array
机译:
高速3D扫描工具的设计框架和基于轴向聚焦微镜的阵列的开发
作者:
Nathan Tessema Ersumo
;
Cem Yalcin
;
Nick Antipa
;
Nicolas Pegard
;
Laura Waller
;
Daniel Lopez
;
Rikky Muller
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS;
micromirrors;
3D scanning;
high-speed;
systematic design;
3.
A triple-wafer-bonded AlScN driven quasi-static MEMS mirror with high linearity and large tilt angles
机译:
具有高线性度和大倾斜角的三晶片键合AlScN驱动的准静态MEMS反射镜
作者:
S. Gu-Stoppel
;
T. Lisec
;
M. Claus
;
N. Funck
;
S. Fichtner
;
S. Schroeder
;
B. Wagner
;
F. Lofink
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
2D quasi-static MEMS mirror;
piezoelectric;
AlScN;
high linearity;
long-term stability;
4.
A bi-axial vacuum-packaged piezoelectric MEMS mirror for smart headlights
机译:
用于智能大灯的双轴真空封装压电MEMS镜
作者:
F. Senger
;
J. Albers
;
U. Hofmann
;
G. Piechotta
;
T. Giese
;
F. Heinrich
;
T. von Wantoch
;
S. Gu-Stoppel
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Piezoelectric;
AlN;
2D MEMS mirror;
glass vacuum package;
high-Q;
5.
Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor
机译:
使用片上压阻传感器的激光雷达微镜振动分析
作者:
Jan Grahmann
;
Richard Schroedter
;
Oliver Kiethe
;
Ulrich Todt
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS-Scanner;
LIDAR;
vibration;
electrostatic;
reliability;
trajectory precision;
quasi-static;
6.
Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR
机译:
谐振一维MEMS反射镜,用于汽车LiDAR的总光学扫描角为180°
作者:
Fabian Schwarz
;
Frank Senger
;
Joerg Albers
;
Pauline Malaurie
;
Christian Janicke
;
Leon Pohl
;
Felix Heinrich
;
Dirk Kaden
;
Hans-Joachim Quenzer
;
Fabian Lofink
;
Andreas Bahr
;
Thomas von Wantoch
;
Ulrich Hofmann
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS-mirror;
micro-mirror;
micro-scanner;
LiDAR;
MOEMS;
MEMS;
large field of view;
large scan angle;
7.
Comparison of MEMS Mirror LiDAR Architectures
机译:
MEMS Mirror LiDAR架构比较
作者:
Abhishek Kasturi
;
Veljko Milanovic
;
Daniel Lovell
;
Frank Hu
;
Derek Ho
;
Yu Su
;
Lj. Ristic
会议名称:
《》
|
2020年
关键词:
LiDAR;
Scanning LiDAR;
LiDAR Architecture;
MEMS Mirrors;
Coaxial;
Biaxial;
Transmitter development;
8.
Wide and fast mode-hop free MEMS tunable ECDL concept and realization in the NIR and MIR spectral regime
机译:
宽和快速的无模跳MEMS可调ECDL概念以及在NIR和MIR频谱范围内的实现
作者:
Morten Hoppe
;
Hanna Rohling
;
Sebastian Schmidtmann
;
Martin Honsberg
;
Herve Tatenguem
;
Jan Grahmann
;
Tobias Milde
;
Thomas Schanze
;
Joachim R. Sacher
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
External Cavity Diode Lasers;
Tunable Diode Lasers;
Micro Electro Mechanical Systems;
Laser Optics;
NIR/MIR;
Curved Waveguide;
GaSb;
Spectroscopy;
9.
Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
机译:
使用经过验证的耦合场模拟,将纳米静电驱动执行器的非线性度降至最低
作者:
Anton Melnikov
;
Hermann A.G. Schenk
;
Franziska Wall
;
Barbara Spitz
;
Lutz Ehrig
;
Sergiu Langa
;
Michael Stolz
;
Bert Kaiser
;
Holger Conrad
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
nano electrostatic drive;
NED;
small gap actuators;
FEM;
coupled-field simulation;
MEMS;
micro loudspeaker;
nonlinearity;
10.
Dynamic pattern generation by singlemode fibers for endoscopic 3D measurement systems
机译:
用于内窥镜3D测量系统的单模光纤动态生成图案
作者:
Silvio Pulwer
;
Daniel Jahns
;
Claus Villringer
;
Sigurd Schrader
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Endoscope;
3D Measurement;
Phase Shift;
Fiber;
11.
Foveated display by laser scanning
机译:
激光扫描凹版显示
作者:
R. Gabai
;
G. Yearim
;
M. Yehiel
;
G. Cahana
;
A. Baram
;
M. Naftali
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Foveated imaging;
scanning laser;
MEMS mirror;
12.
Combined MEMS Spectrometer Based on Michelson Interferometer and Tunable Filter for Wideband Selective Operation
机译:
基于迈克尔逊干涉仪和可调滤波器的组合MEMS光谱仪用于宽带选择性操作
作者:
Amir K. Shaheen
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa A. Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Spectral resolution;
MEMS FTIR spectrometer;
Fabry Perot tunable filter;
13.
Light-sheet microscopy using MEMS and active optics for 3D image acquisition control
机译:
使用MEMS和有源光学器件进行3D图像采集控制的光片显微镜
作者:
Spyridon Bakas
;
Deepak Uttamchandani
;
Ralf Bauer
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS micromirror;
light-sheet microscopy;
miniaturized imaging;
fluorescence imaging;
14.
Single-pixel hyperspectral imaging using Hadamard transformation
机译:
使用Hadamard变换的单像素高光谱成像
作者:
Qi Yr
;
Zi Heng Lim
;
Li Liang
;
Zhou Guangcan
;
Fook Siong Chau
;
Guangya Zhou
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Single-pixel imaging;
hyperspectral imaging;
Hadamard transform;
15.
A 3D actuator for laser scanning endoscopy
机译:
用于激光扫描内窥镜的3D执行器
作者:
Oguz Gurcuoglu
;
Irem D. Derman
;
Melisa Altinsoy
;
Ramin Khayatzadeh
;
Ahmet C. Erten
;
Fehmi Civitci
;
Onur Ferhanoglu
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
3D printing;
actuators;
laser imaging;
endoscopy;
16.
Effects of optically absorbent coatings on parallel optical control of levitating milli-robots
机译:
光学吸收涂层对悬浮微型机器人平行光学控制的影响
作者:
J. Young
;
S. Yee
;
S. Makkapati
;
C. Nelson
;
H. ElBidweihy
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Optomechanical actuation;
diamagnetic levitation;
milli-robot;
parallel control;
optically absorbent coating;
17.
Compressive Sensing MEMS FTIR Spectrometer
机译:
压感MEMS FTIR光谱仪
作者:
Karirn S. Hedayet
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Compressive Sensing;
MEMS FTIR Spectrometers;
super resolution;
greedy algorithm;
relaxation algorithm;
18.
Multi-walled carbon nanotubes based near-infrared radiation source
机译:
基于多壁碳纳米管的近红外辐射源
作者:
Ahmed Saeed
;
Ahmed A. Elsayed
;
Frederic Marty
;
Elves Nefzaoui
;
Tarik Bourouina
;
Heba A. Shawkey
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Multi-walled Carbon nanotubes;
near infrared;
Joule heating;
integrated sources;
19.
Modeling and characterization of the reflectance of vertical metal- coated micromirrors in deeply-etched optical benches
机译:
深蚀刻光学平台中垂直金属涂层微镜反射率的建模和表征
作者:
Moez El-Massry
;
Yasser M. Sabry
;
Sebastien Nazeer
;
Ahmed Shebl
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Vertical micromirrors;
aluminum reflectivity;
transfer matrix method;
metal thin film grains.;
20.
Attenuated Total Reflection (ATR) MEMS FTIR Spectrometer
机译:
衰减全反射(ATR)MEMS FTIR光谱仪
作者:
Amr O. Ghoname
;
Yasser M. Sabry
;
Momen Anwar
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Miniaturized ATR spectrometer;
Micro-optics;
ATR crystal;
Photonic MEMS;
Lubricant oil;
21.
Coupled MOEMS membranes for enhanced sensing purposes
机译:
耦合的MOEMS膜可增强感测目的
作者:
Andreas Naesby Rasmussen
;
Sepideh Naserbakht
;
Aurelien Dantan
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MOEMS;
Sensing;
Optomechanics;
Photonics;
22.
Molybdenum silicide in infrared emitting devices
机译:
红外发射装置中的硅化钼
作者:
Julia Baldauf
;
Ruediger Schmidt-Grund
;
Manfred Reiche
;
Thomas Ortlepp
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
infrared;
infrared emitter;
molybdenum silicide;
optical properties;
photonic crystal;
electromigration;
23.
System integration of hybrid large aperture Micro Scanner Array for fast scanning LiDAR sensors
机译:
用于快速扫描LiDAR传感器的混合大孔径微扫描器阵列的系统集成
作者:
Thilo Sandner
;
Thomas Grasshoff
;
Wolf-Dietrich Owe
;
Andreas Herrmann
;
Michael Wildenhain
;
Markus Schwarzenberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MOEMS;
micro scanning mirror;
synchronized scanning;
LiDAR;
3D sensing;
ToF;
hybrid micro assembly;
24.
Effects of optically absorbent coatings on parallel optical control of levitating milli-robots
机译:
光学吸收涂层对悬浮米机的平行光学控制的影响
作者:
J. Young
;
S. Yee
;
S. Makkapati
;
C. Nelson
;
H. ElBidweihy
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Optomechanical actuation;
diamagnetic levitation;
milli-robot;
parallel control;
optically absorbent coating;
25.
Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor
机译:
用片上压电传感器的LIDAR微镜振动分析
作者:
Jan Grahmann
;
Richard Schroedter
;
Oliver Kiethe
;
Ulrich Todt
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS-Scanner;
LIDAR;
vibration;
electrostatic;
reliability;
trajectory precision;
quasi-static;
26.
Comparison of MEMS Mirror LiDAR Architectures
机译:
MEMS镜典型架构的比较
作者:
Abhishek Kasturi
;
Veljko Milanovic
;
Daniel Lovell
;
Frank Hu
;
Derek Ho
;
Yu Su
;
Lj. Ristic
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
LiDAR;
Scanning LiDAR;
LiDAR Architecture;
MEMS Mirrors;
Coaxial;
Biaxial;
Transmitter development;
27.
Wide and fast mode-hop free MEMS tunable ECDL concept and realization in the NIR and MIR spectral regime
机译:
广泛而快速的模式无需MEMS可调ECDL概念和MIR光谱制度的实现
作者:
Morten Hoppe
;
Hanna Rohling
;
Sebastian Schmidtmann
;
Martin Honsberg
;
Herve Tatenguem
;
Jan Grahmann
;
Tobias Milde
;
Thomas Schanze
;
Joachim R. Sacher
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
External Cavity Diode Lasers;
Tunable Diode Lasers;
Micro Electro Mechanical Systems;
Laser Optics;
NIR/MIR;
Curved Waveguide;
GaSb;
Spectroscopy;
28.
Design Framework for High-Speed 3D Scanning Tools and Development of an Axial Focusing Micromirror-Based Array
机译:
高速3D扫描工具的设计框架和基于轴向聚焦微镜阵列的开发
作者:
Nathan Tessema Ersumo
;
Cem Yalcin
;
Nick Antipa
;
Nicolas Pegard
;
Laura Waller
;
Daniel Lopez
;
Rikky Muller
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS;
micromirrors;
3D scanning;
high-speed;
systematic design;
29.
Modeling and characterization of the reflectance of vertical metal- coated micromirrors in deeply-etched optical benches
机译:
深度蚀刻光学长凳上垂型金属涂层微镜反射率的建模与表征
作者:
Moez El-Massry
;
Yasser M. Sabry
;
Sebastien Nazeer
;
Ahmed Shebl
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Vertical micromirrors;
aluminum reflectivity;
transfer matrix method;
metal thin film grains.;
30.
A triple-wafer-bonded AlScN driven quasi-static MEMS mirror with high linearity and large tilt angles
机译:
具有高线性度和大倾斜角度的三晶片键合的Alscn驱动的准静态MEMS镜
作者:
S. Gu-Stoppel
;
T. Lisec
;
M. Claus
;
N. Funck
;
S. Fichtner
;
S. Schroeder
;
B. Wagner
;
F. Lofink
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
2D quasi-static MEMS mirror;
piezoelectric;
AlScN;
high linearity;
long-term stability;
31.
Novel CMOS-integrated 512×320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
机译:
新型CMOS-Integrated 512×320尖端倾斜微镜阵列及相关技术平台
作者:
A. Gehner
;
S. Doering
;
D. Rudloff
;
D. Kunze
;
P. Duerr
;
S. Frances
;
L. Haensel
;
H. Torlee
;
A. Elgner
;
M. Eckert
;
M. Friedrichs
;
J. Heber
;
J. Schmidt
;
W. Pufe
;
C. Hohle
;
M. Schulze
;
M. Wagner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
SLM;
MOEMs;
micro mirror arrays;
tip-tilt actuator;
surface micromachining;
CMOS integration;
32.
Foveated display by laser scanning
机译:
激光扫描的展示
作者:
R. Gabai
;
G. Yearim
;
M. Yehiel
;
G. Cahana
;
A. Baram
;
M. Naftali
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Foveated imaging;
scanning laser;
MEMS mirror;
33.
Dynamic pattern generation by singlemode fibers for endoscopic 3D measurement systems
机译:
用于内窥镜3D测量系统的单模光纤的动态模式
作者:
Silvio Pulwer
;
Daniel Jahns
;
Claus Villringer
;
Sigurd Schrader
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Endoscope;
3D Measurement;
Phase Shift;
Fiber;
34.
System integration of hybrid large aperture Micro Scanner Array for fast scanning LiDAR sensors
机译:
混合大孔径微扫描仪阵列快速扫描激光扫描器的系统集成
作者:
Thilo Sandner
;
Thomas Grasshoff
;
Wolf-Dietrich Owe
;
Andreas Herrmann
;
Michael Wildenhain
;
Markus Schwarzenberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MOEMS;
micro scanning mirror;
synchronized scanning;
LiDAR;
3D sensing;
ToF;
hybrid micro assembly;
35.
A 3D actuator for laser scanning endoscopy
机译:
用于激光扫描内窥镜检查的3D执行器
作者:
Oguz Gurcuoglu
;
Irem D. Derman
;
Melisa Altinsoy
;
Ramin Khayatzadeh
;
Ahmet C. Erten
;
Fehmi Civitci
;
Onur Ferhanoglu
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
3D printing;
actuators;
laser imaging;
endoscopy;
36.
Molybdenum silicide in infrared emitting devices
机译:
红外发射器件中的硅化物
作者:
Julia Baldauf
;
Ruediger Schmidt-Grund
;
Manfred Reiche
;
Thomas Ortlepp
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
infrared;
infrared emitter;
molybdenum silicide;
optical properties;
photonic crystal;
electromigration;
37.
Combined MEMS Spectrometer Based on Michelson Interferometer and Tunable Filter for Wideband Selective Operation
机译:
基于Michelson干涉仪的组合MEMS光谱仪,可调滤波器进行宽带选择性操作
作者:
Amir K. Shaheen
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa A. Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Spectral resolution;
MEMS FTIR spectrometer;
Fabry Perot tunable filter;
38.
Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
机译:
验证耦合场仿真最小化纳米静电驱动致动器中的非线性
作者:
Anton Melnikov
;
Hermann A.G. Schenk
;
Franziska Wall
;
Barbara Spitz
;
Lutz Ehrig
;
Sergiu Langa
;
Michael Stolz
;
Bert Kaiser
;
Holger Conrad
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
nano electrostatic drive;
NED;
small gap actuators;
FEM;
coupled-field simulation;
MEMS;
micro loudspeaker;
nonlinearity;
39.
Compressive Sensing MEMS FTIR Spectrometer
机译:
压缩感测MEMS FTIR光谱仪
作者:
Karirn S. Hedayet
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Compressive Sensing;
MEMS FTIR Spectrometers;
super resolution;
greedy algorithm;
relaxation algorithm;
40.
Attenuated Total Reflection (ATR) MEMS FTIR Spectrometer
机译:
减弱全反射(ATR)MEMS FTIR光谱仪
作者:
Amr O. Ghoname
;
Yasser M. Sabry
;
Momen Anwar
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Miniaturized ATR spectrometer;
Micro-optics;
ATR crystal;
Photonic MEMS;
Lubricant oil;
41.
Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR
机译:
带有180°的全光扫描角度的谐振1D MEMS镜像用于汽车延线
作者:
Fabian Schwarz
;
Frank Senger
;
Joerg Albers
;
Pauline Malaurie
;
Christian Janicke
;
Leon Pohl
;
Felix Heinrich
;
Dirk Kaden
;
Hans-Joachim Quenzer
;
Fabian Lofink
;
Andreas Bahr
;
Thomas von Wantoch
;
Ulrich Hofmann
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS-mirror;
micro-mirror;
micro-scanner;
LiDAR;
MOEMS;
MEMS;
large field of view;
large scan angle;
42.
Coupled MOEMS membranes for enhanced sensing purposes
机译:
耦合MoEMS膜,用于增强传感目的
作者:
Andreas Naesby Rasmussen
;
Sepideh Naserbakht
;
Aurelien Dantan
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MOEMS;
Sensing;
Optomechanics;
Photonics;
43.
Light-sheet microscopy using MEMS and active optics for 3D image acquisition control
机译:
用于3D图像采集控制的MEMS和主动光学器件的光纸显微镜
作者:
Spyridon Bakas
;
Deepak Uttamchandani
;
Ralf Bauer
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
MEMS micromirror;
light-sheet microscopy;
miniaturized imaging;
fluorescence imaging;
44.
Single-pixel hyperspectral imaging using Hadamard transformation
机译:
使用Hadamard转换的单像素高光谱成像
作者:
Qi Yr
;
Zi Heng Lim
;
Li Liang
;
Zhou Guangcan
;
Fook Siong Chau
;
Guangya Zhou
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Single-pixel imaging;
hyperspectral imaging;
Hadamard transform;
45.
A bi-axial vacuum-packaged piezoelectric MEMS mirror for smart headlights
机译:
用于智能前灯的双轴真空包装压电MEMS镜
作者:
F. Senger
;
J. Albers
;
U. Hofmann
;
G. Piechotta
;
T. Giese
;
F. Heinrich
;
T. von Wantoch
;
S. Gu-Stoppel
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Piezoelectric;
AlN;
2D MEMS mirror;
glass vacuum package;
high-Q;
46.
Multi-walled carbon nanotubes based near-infrared radiation source
机译:
基于多壁碳纳米管的近红外辐射源
作者:
Ahmed Saeed
;
Ahmed A. Elsayed
;
Frederic Marty
;
Elves Nefzaoui
;
Tarik Bourouina
;
Heba A. Shawkey
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2020年
关键词:
Multi-walled Carbon nanotubes;
near infrared;
Joule heating;
integrated sources;
47.
Micromirrors for multiobject spectroscopy: optical and cryogenic characterization
机译:
多机器光谱的微镜:光学和低温表征
作者:
Severin Waldis
;
Frederic Zamkotsian
;
Patrick Lanzoni
;
Wilfried Noell
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
micromirror;
multiobject spectroscopy;
MOEMS;
mirror array;
DRIE;
48.
3-D MOEMS-based optical micro-bench platform for the miniaturization of sensing devices
机译:
基于3-D MoEMS的光学微凳平台,用于传感装置的小型化
作者:
Sonia Garcia-Blanco
;
Jean-Sol Caron
;
Sebastien Leclair
;
Patrice A. Topart
;
Hubert Jerominek
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
micro-bench;
electroplating;
flip-chip bonding;
replication, MOEMS;
49.
A novel diffractive micro-optical modulator for mobile display applications
机译:
用于移动显示应用的新型衍射微光学调制器
作者:
Sang Kyeong Yun
;
JongHyeong Song
;
SeungDo An
;
InJae Yeo
;
YoonJoon Choi
;
et al
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
spatial light modulator;
embedded;
mobile;
MEMS;
piezoelectric micro-actuator;
diffraction grating;
laser display;
50.
Slow Scanning Electromagnetic MEMS Scanner for Laser Display
机译:
激光显示器慢速扫描电磁MEMS扫描仪
作者:
Hee-Moon Jeong
;
Yong-Hwa Park
;
Hyun-Ku Jeong
;
Yong-Chul Cho
;
Seok-Mo Chang
;
Jun-O Kim
;
Seok-Jin Kang
;
Jun-Sik Hwang
;
Jin-Ho Lee
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
optical MEMS;
electromagnetic scanner;
stopper;
micromachining;
SDB;
laser display;
mobile projection display;
51.
Wafer-level vacuum packaged micro-scanning mirrors for compact laser projection displays
机译:
用于紧凑型激光投影显示器的晶片级真空封装微扫描镜
作者:
Ulrich Hofmann
;
Marten Oldsen
;
Hans-Joachim Quenzer
;
Joachim Janes
;
Martin Heller
;
Manfred Weiss
;
Georgios Fakas
;
Lars Ratzmann
;
Eleonora Marchetti
;
Francesco DAscoli
;
Massimiliano Melani
;
Luca Bacciarelli
;
Emilio Volpi
;
Francesco Battini
;
Luca Mostardi
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
MOEMS;
scanning mirror;
comb drive;
laser display;
optical wafer-level package;
vacuum-package;
52.
Mobile flat mirrors for micro-optical scanners
机译:
用于微光学扫描仪的移动平面镜
作者:
G. Molar-Velazquez
;
F. J. Renero-Carrillo
;
W. Calleja-Arriaga
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
micro-mirror;
electrostatic flat mirror;
micro-optical systems;
micro-electro-mechanical-systems;
coventor;
integrated optics;
53.
A biocompatible miniaturized Package housing for a 3D micro mirror based optical Bioprobe for OCT imaging application
机译:
基于3D微镜的光学生物探针的生物相容性小型化封装壳体用于OCT成像应用
作者:
C.S.Premachandran
;
Ahmad Khairyanto
;
Kelvin Chen
;
Janak Singh
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
OCT;
optical probe;
MEMS;
micro mirror;
3D mirror;
SiOB;
bioimaging;
micro injection molding;
biocompatible material;
grin lens;
54.
MEMS-based optoelectronic system for distance measurement applicable for Panorama Cameras
机译:
基于MEMS的光电系统,用于距离测量适用于全景摄像机
作者:
M. Schaulin
;
J. Knobbe
;
H. Neumann
;
K. Seidl
;
L. Kleinmann
;
U. Schelinski
;
M. Scholles
;
H.-J. Schonherr
;
H. Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
distance measurement;
LIDAR;
3D;
panorama camera;
55.
New Approach for MEMS Scanning Mirror for Laser Projection Systems
机译:
用于激光投影系统MEMS扫描镜的新方法
作者:
Heinrich Gruger
;
Jens Knobbe
;
Michael Scholles
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
laser projection;
scanner mirror;
piezo electric drive;
high frame rate;
56.
Two dimensional microscanners with large horizontal-vertical scanning frequency ratio for high resolution laser projectors
机译:
高分辨率激光投影仪具有大水平垂直扫描频率比的二维微牵动器
作者:
Shu-Ting Hsu
;
Thomas Klose
;
Christian Drabe
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
MEMS;
2D scanner;
high resolution;
mirror;
laser projector;
57.
Dual detector optical MEMS spectrum analyzer: advances, applications and prospects
机译:
双探测器光学MEMS频谱分析仪:推进,应用和潜在客户
作者:
Thomas Otto
;
Ray Saupe
;
Alexander Weiss
;
Volker Stock
;
Kerstin Wiesner
;
Uwe Lampe
;
Maximilian Fleischer
;
Thomas Gessner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
MOEMS;
NIR spectroscopy;
spectrometer;
spectrum analyzer;
58.
Flat Electrowetting Optics and Displays
机译:
平电润湿光学和显示器
作者:
Jason C. Heikenfeld
;
Neil R. Smith
;
Bo Sun
;
Kaichang Zhou
;
Linlin Hou
;
Yanrong Lao
;
Balaji Raj
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
electrowetting;
displays;
prisms;
beam steering;
dielectrics;
liquids;
microfluidics;
59.
MEMS Reliability - Coining of Age
机译:
MEMS可靠性 - 年龄的变化
作者:
Michael R. Douglass
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
reliability;
FMEA;
accelerated testing;
stress testing;
60.
Development of wafer level packaged scanning micromirrors
机译:
晶圆级封装扫描微镜的开发
作者:
Aibin Yu
;
Chengkuo Lee
;
Li Ling Yan
;
Qing Xin Zhang
;
Seung Uk Yoon
;
John H. Lau
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
MEMS;
scanning micromirror;
wafer level packaging;
low temperature wafer bonding;
indium;
61.
Radiation-pressure effects upon a micromirror in a high-finesse optical cavity
机译:
在高精度光学腔中对微镜的辐射压力效应
作者:
A. Heidmann
;
O. Arcizet
;
C. Molinelli
;
T. Briant
;
P.-F. Cohadon
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
quantum optics;
radiation pressure;
micro-optomechanical systems;
micromirror;
self-cooling;
62.
A Porous Silicon Thermally Tunable Optical Filter
机译:
多孔硅热可调光学滤光器
作者:
Da Song
;
Natalya Tokranova
;
Alison Gracias
;
James Castracane
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
porous silicon;
multilayer structure;
MOEMS;
fabry-perot interferometer;
63.
Novel optical viscosity sensor based on laser-induced capillary wave
机译:
基于激光诱导毛细波的新型光学粘度传感器
作者:
A. Ebisui
;
Y. Taguchi
;
Y. Nagasaka
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
measurement technique;
micro-fabrication;
optical sensing;
surface tension;
viscosity;
64.
One-axis metallic electrostatic micromirror array
机译:
单轴金属静电微镜阵列
作者:
K. Tondapu
;
Q. Cheng
;
M. Almasri
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
micromirror;
electrostatic actuation;
optical cross connect;
electroplated nickel;
65.
Advanced artificial compound-eye imaging systems
机译:
先进的人造复合眼成像系统
作者:
Andreas Brueckner
;
Jacques Duparre
;
Andreas Braeuer
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
artificial compound eye;
insect vision;
compact imaging systems;
color vision;
sensitivity;
resolution enhancement;
microlens array imaging;
micro-optics;
66.
Pushbroom NIR Hyperspectral imager using MOEMS scanning grating chips
机译:
使用MoEms扫描光栅芯片的推荐Nir Hyperspectral Imager
作者:
Heinrich Grueger
;
Thomas Egloff
;
Michael Scholles
;
Fabian Zimmer
;
Michael Mueller
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2008年
关键词:
micro mechanical grating;
hyperspectral imaging;
imaging spectrometer;
spectroscopy;
scanning grating;
micro scanning mirror;
67.
Photo-controlled deformable mirror for wavefront shaping
机译:
波前塑造的照片控制可变形镜
作者:
Frederic Zamkotsian
;
Lorenzo Cabona
;
Edoardo Redaelli
;
Giorgio Pariani
;
Patrick Lanzoni
;
Andrea Bianco
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Deformable mirror;
Photo-controlled deformable mirror;
Wavefront shaping;
Adaptive Optics;
Digital Micromirror Device;
DMD;
68.
Large Aperture MEMS Mirror with Integrated Piezoelectric Actuator
机译:
具有集成压电执行器的大孔径MEMS镜
作者:
Yufeng Wang
;
Gary Li
;
Qin Zhou
;
Sergio Almeida
;
Sae Won Lee
;
Youmin Wang
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS;
mirror;
piezoelectric;
PZT;
aperture;
69.
Innovative ECDL design based on a resonant MEMS scanner for ultra-fast tuning in the MIR range
机译:
基于谐振MEMS扫描仪的创新ECDL设计,用于在MIR范围内超快调谐
作者:
Morten Hoppe
;
Sebastian Schmidtmann
;
Christian Assmann
;
Martin Honsberg
;
HerveTatenguem
;
Tobias Milde
;
Thomas Schanze
;
Joachim Sacher
;
Shanshan Gu-Stoppel
;
Frank Senger
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Mid Infrared Lasers;
External-Cavity;
Fabry-Perot Lasers;
MEMS;
Tunable Lasers;
GaSb;
Rapid Detection;
70.
Wide-angle wide-spectral range IMI plasmonic MEMS mirror in the MIR for spectroscopic gas sensing applications
机译:
广角宽光谱范围IMI等离子体MEMS镜在MIR中,用于光谱气体传感应用
作者:
Hoda A. H. Morshed
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MIR gas sensing;
MEMS technology;
Multi-pass gas cells;
Absorption spectroscopy;
71.
Beam-steering MOEMS system based on a resonant piezoMEMS mirror and a phase-locked loop controller
机译:
基于谐振压电镜和锁相环控制器的光束转向MOEMS系统
作者:
Konsta S. Ruotsalainen
;
Dmitry Morits
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
PLL;
Digital Contol;
Micromirror;
Piezoelectric;
LiDAR;
MEMS;
scanning mirror;
72.
CMOS compatible MEMS pyroelectric infrared detectors: from AIN to ScAIN
机译:
CMOS兼容MEMS热电红外探测器:从AIN到SACAIN
作者:
Doris K. T. Ng
;
Chong-Pei Ho
;
Tantan Zhang
;
Linfang Xu
;
Li-Yan Siow
;
Wing-Wai Chung
;
Hong Cai
;
Lennon Y. T. Lee
;
Qingxin Zhang
;
Navab Singh
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
aluminum nitride;
scandium aluminum nitride;
pyroelectric detector;
infrared;
CMOS compatible;
MEMS;
73.
Compact detector unit based on the butterfly assembly for trace gas analysis
机译:
基于曲线组件的紧凑型检测器单元进行痕量气体分析
作者:
Tobias Milde
;
Morten Hoppe
;
Herve Tatenguem
;
Sebastian Schmidtmann
;
Martin Honsberg
;
Christian Assmann
;
Wolfgang Schade
;
Joachim Sacher
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Distributed-Feedback Lasers;
Infrared Spectroscopy;
Photoacoustic Spectroscopy;
Gas Spectroscopy;
Mid Infrared Lasers;
Tunable Lasers;
Mobile Application;
74.
Challenges of Monolithic MEMS-on-CMOS Integration for Spatial Light Modulators
机译:
空间光调制器单片MEMOS-on-CMOS集成的挑战
作者:
Christoph Hohle
;
Sebastian Doering
;
Martin Friedrichs
;
Andreas Gehner
;
Dirk Rudloff
;
Matthias Schulze
;
Ronald Stuebner
;
Daniela Trenkler
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
SLM;
Spatial Light Modulators;
MEMS-on-CMOS;
CMOS Backplanes;
Monolithic Integration;
75.
Efficient Driver and High Accuracy Sense ASICs for Piezoelectric Micro-Mirrors
机译:
压电微镜的高效驾驶员和高精度探测器
作者:
Andrea Barbieri
;
Luca Molinari
;
Marco Zamprogno
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
76.
Amplitude-Modulated Continuous Wave Scanning LIDAR Based on Parallel Phase-Demodulation
机译:
基于并行相位解调的幅度调制的连续波扫描激光雷达
作者:
Sung-Hyun Lee
;
Wook-Hyeon Kwon
;
Yong-Hwa Park
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
LIDAR;
Laser Scanning;
Amplitude Modulation;
Continuous Wave;
Time-of-Flight;
Parallel Demodulation;
3D Depth Image;
77.
Photonic crystal MEMS emitter for chemical gas sensing
机译:
光子晶体MEMS发射器用于化学气体传感
作者:
Nanxi Li
;
Qin Chao
;
Zhonghua Gu
;
Shiwei Song
;
Yanyan Zhou
;
Shaonan Zheng
;
Linfang Xu
;
Yun Da Chua
;
Qingxin Zhang
;
Hong Cai
;
Daohua Zhang
;
Qi Jie Wang
;
Lennon Lee
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS;
thermal emitter;
photonic crystal;
chemical sensor;
78.
Compact and innovative laser beam steering optical engine for smart glasses applications
机译:
用于智能眼镜应用的紧凑型和创新的激光束转向光学引擎
作者:
Alex Domnits
;
Shlomy Erlich
;
Dadi Sharon
;
Elan Roth
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS micro mirrors;
RGB package 3 in 1 light source;
79.
Modeling and Experimental Verification of the Impact of Noise Sources on Projection Accuracy of Mems Linear Micromirrors for Raster Scanning Applications
机译:
噪声源对光栅扫描应用的MEMS线性微镜投影精度影响的建模与实验验证
作者:
Paolo Frigerio
;
Andrea Barbieri
;
Marco Zamprogno
;
Giacomo Langfelder
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS;
micromirror;
projectors;
linear;
open-loop;
model;
noise;
80.
A 2D electrothermal micromirror with feedback based on Hall-effect of Piezoresistive sensors
机译:
具有基于压阻传感器的霍尔效应的反馈2D电热微镜
作者:
Yue Tang
;
Jianhua Li
;
Lixin Xu
;
Huikai Xie
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS mirror;
Piezoresistive sensor;
Feedback;
Lateral shift-free (LSF);
81.
Wide Angle LiDAR Demonstrator Based on a Resonantly Operated 1D MEMS Mirror capable of Scanning 180°
机译:
基于一个能够扫描180°的谐振操作的1D MEMS镜的广角LIDAR示范器
作者:
Leon Pohl
;
Fabian Schwarz
;
Peter Blicharski
;
Christian Janicke
;
Oleg Petrak
;
Thomas von Wantoch
;
Ulrich Hofmann
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
LiDAR;
scanning LiDAR;
MEMS mirror;
MEMS scanner;
large field-of-view;
SPAD;
small size;
low cost;
82.
Tunable Optical Filters with Hybrid Plasmonic-Dielectric Thin-films for Fluorescence Sensing
机译:
具有混合等离子体介电薄膜的可调谐光学滤膜,用于荧光传感
作者:
Ahmed Abdelghfar
;
Noha Anous
;
Noha Gaber
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Tunable Optical Filter;
Fluorescence detection;
Visible range filters;
Miniaturized fluorescence sensor;
Plasmonic filters;
83.
Smart Slit Assembly Employing Continuously Tunable MEMS Shutter
机译:
智能缝隙组件采用连续调谐MEMS快门
作者:
Anton Lagosh
;
Gergely Huszka
;
Hamed Sattari
;
Berit Ahlers
;
Benedikt Guldimann
;
Gregoire Kerr
;
Mauro Melozzi
;
Peyman Rahnama
;
Takeshi Nishizawa
;
Niels Quack
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Smart Slit Assembly;
optical MEMS;
rectangular waveguide;
multimode fiber;
84.
A 2D circular-scanning piezoelectric MEMS mirror for laser material processing
机译:
用于激光材料加工的2D圆形扫描压电MEMS镜
作者:
F. Senger
;
S. Gu-Stoppel
;
L. Wen
;
J. Albers
;
M. Timmermann
;
Stefan Bruns
;
G. Piechotta
;
U.Buenting
;
M. Schulz-Ruhtenberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
Piezoelectric;
AIN;
PZT;
2D MEMS mirror;
Circular-scanning;
High-Reflective coating;
Ultrashort pulse laser;
High power laser application;
Drilling and trepanning;
85.
Quasi-static PZT actuated MEMS mirror with 4×3mm~2 reflective area and high robustness
机译:
准静态PZT驱动MEMS镜,具有4×3mm〜2的反射区域和高稳健性
作者:
N. Boni
;
R. Carminati
;
G. Mendicino
;
M. Merli
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2021年
关键词:
MEMS scanner;
MEMS mirror;
quasi-static actuation;
PZT;
piezoelectric;
AR/MR;
LiDAR;
86.
Multiple MEMS mirrors synchronization techniques, modeling and applications
机译:
多个MEMS镜像同步技术,建模和应用
作者:
Guy Amor
;
Elan Roth
;
Dadi Sharon
;
Nir Gorelik
;
Sivan Kinstlich
;
Sivan Nagola
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
87.
A design and manufacturing platform for AlScN based highly linear quasi-static MEMS mirrors with large optical apertures
机译:
基于ALSCN的高度线性准静态MEMS镜具有大型光学孔径的设计与制造平台
作者:
S. Gu-Stoppel
;
F. Senger
;
L. Wen
;
E. Yarar
;
G. Wille
;
J. Albers
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
2D quasi-static MEMS mirror;
large aperture;
piezoelectric;
AlScN and A1N;
high linearity;
long-term stability;
88.
On-chip Structure for Optofluidic Sensing using Stable Fabry-Perot Resonator
机译:
稳定法布里 - 珀罗谐振器的芯片流体检测的片上结构
作者:
Abdelrahman Toraya
;
Noha Gaber
;
Frederic Marty
;
Tarik Bourouina
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
Fabry-Perot microcavity;
integrated optical resonator;
optofluidic sensor;
on-chip refractometer;
89.
A Novel Closed-loop Architecture for Accurate Micromirror Trajectory Control in Linear Scanning MEMS-based Projectors
机译:
一种新型闭环架构,用于基于线性扫描MEMS的基于线性扫描MEMS的投影机中的精确微镜轨迹控制
作者:
Paolo Frigerio
;
Riccardo Tarsi
;
Luca Molinari
;
Giuseppe Maiocchi
;
Andrea Barbieri
;
Giacomo Langfelder
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
MEMS;
micromirror;
projectors;
linear;
control;
loop;
PZT;
piezoresistive;
90.
A Two-Axis Water-Immersible Micro Scanning Mirror (WIMSM) Using Torsional and Bending Polymer Hinges
机译:
使用扭转和弯曲聚合物铰链的双轴水不含微扫描镜(WiMSM)
作者:
Xiaoyu Duan
;
Jun Zou
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
Ultrasound microscopy;
Photoacoustic microscopy;
Water-immersible scanning mirror;
Torsional and bending hinges;
91.
MEMS-based polarized FTIR spectrometer for polymer quality control
机译:
基于MEMS的聚合物质量控制极化FTIR光谱仪
作者:
Yomna M. Eltagoury
;
Yasser M. Sabry
;
Diaa A. Khalil
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
portable spectrometer;
polarization spectroscopy;
dichroic ratio;
polymer orientation;
quality process;
92.
Electro-mechanical validation of a resonant MEMS mirror with PZT actuation and PZR sensing
机译:
具有PZT致动和PZR传感的谐振MEMS镜的电力验证
作者:
G.Mendicino
;
M.Merli
;
R.Carminati
;
N.Boni
;
A.Opreni
;
A. Frangi
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2021年
关键词:
MEMS Mirror;
Laser Beam Scanning;
Piezoelectric;
LiDAR;
AR/VR;
93.
Update on MEMS-based scanned beam imager
机译:
基于MEMS的扫描波束成像器更新
作者:
Richard James
;
Greg Gibson
;
Frank Metting
;
Wyatt Davis
;
Christian Drabe
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2007年
94.
Investigation of a Seesaw Structure for Elevating the Micro Optical Device by CMOS-MEMS Process
机译:
CMOS-MEMS工艺提升微光学装置的跷跷板结构研究
作者:
Chien-Chung Tsai
;
Shang-Che Tsai
;
Yi-Cheng Huang
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2007年
关键词:
micro array thermal actuator;
elevating structure;
micro optical devices;
CMOS-MEMS;
95.
Investigation of a seesaw structure for elevating the micro-optical device by CMOS-MEMS process
机译:
CMOS-MEMS过程升高微光学装置的跷跷板结构研究
作者:
Chien-Chung Tsai
;
Shang-Che Tsai
;
Yi-Cheng Huang
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2007年
关键词:
Micro Array Thermal Actuator;
Elevating Structure;
Micro Optical Devices;
CMOS-MEMS;
96.
Investigation of Motion Behavior for the Opposite Connection Micro Optical Devices by CMOS-MEMS Process
机译:
CMOS-MEMS过程对相反连接微光学装置的运动行为研究
作者:
Chien-Chung Tsai
;
Yi-Cheng Huang
;
Shang-Che Tsai
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2007年
关键词:
micro array thermal actuator;
spring;
micro mirror;
CMOS-MEMS;
97.
Update on MEMS-based Scanned Beam Imager
机译:
基于MEMS的扫描波束成像器更新
作者:
Richard James
;
Greg Gibson
;
Frank Metting
;
Wyatt Davis
;
Christian Drabe
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2007年
98.
Investigation of motion behavior for the opposite connection micro-optical devices by CMOS-MEMS process
机译:
CMOS-MEMS过程对相反连接微光学装置的运动行为研究
作者:
Chien-Chung Tsai
;
Yi-Cheng Huang
;
Shang-Che Tsai
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2007年
关键词:
Micro Array Thermal Actuator;
Spring;
Micro Mirror;
CMOS-MEMS;
99.
Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
机译:
基于二维谐振微扫描镜的超紧凑激光投影系统
作者:
M. Scholles
;
A. Braeuer
;
K. Frommhagen
;
Ch. Gerwig
;
H. Lakner
;
H. Schenk
;
M. Schwarzenberg
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2007年
关键词:
image projection;
scanning mirror;
MEMS;
resonant scanning;
micro optics;
100.
An indium phosphide-based near-infrared MOEMS microspectrometer for agri-food and environmental monitoring
机译:
基于磷化铟的近红外MOEMS微旋光器,用于农业食品和环境监测
作者:
Michel Garrigues
;
J- Leclercq
;
Romain Gil-Sobraques
;
Olivier Parillaud
;
Michel Crochon
;
Jean-Michel Roger
;
Octave Amore
;
Bruno Vilotitch
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2007年
关键词:
tunable photodetector;
resonant cavity;
quantum well;
spectrometer;
indium phosphide;
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