光掩模上的EUV防护膜及其安装方法

摘要

本申请涉及光掩模上的EUV防护膜及其安装方法。在一种从光掩模拆卸防护膜的方法中，将具有防护膜的光掩模放置在掩模支架上。防护膜通过多个微结构附接于光掩模。在施加拉力以将防护膜从光掩模分离之前或者在未施加拉力的情况下，通过向多个微结构施加力或能量来使多个微结构从光掩模脱离。从光掩模拆卸防护膜。在前述和以下实施例中的一个或多个中，多个微结构由弹性体制成。