QK3玻璃基底上可见光区宽带增透膜研究

摘要

以QK3为基底设计了一种宽带可见光区增透膜（增透波长0．4-0．8μm），工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法，薄膜材料仅含有TiO2和SiO2，并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量，结果表明平均透过率达97．73％。环境测试表明，薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。