具有本地互连的自对准栅极端帽（SAGE）架构

摘要

描述了具有本地互连的自对准栅极端帽（SAGE）架构以及制作具有本地互连的SAGE架构的方法。在示例中，一种集成电路结构，包括第一半导体鳍之上的第一栅极结构，以及第二半导体鳍之上的第二栅极结构。栅极端盖隔离结构在所述第一和第二半导体鳍之间，并且横向位于所述第一和第二栅极结构之间且与所述第一和第二栅极结构相接触。栅极插塞位于所述栅极端盖隔离结构之上，并且横向位于所述第一和第二栅极结构之间并与所述第一和第二栅极结构相接触。本地栅极互连位于所述栅极插塞和所述栅极端盖隔离结构之间，所述本地栅极互连与所述第一和第二栅极结构相接触。