North Carolina State University.;
机译:用于电子应用的自对准栅极堆栈的制造与表征
机译:通过减少低于60 nm DRAM器件中钨双多晶硅栅极堆叠上的工艺驱动的热应力,减少自对准接触故障的工艺设计
机译:栅极
机译:自对准Ge-gate / SiO
机译:自对准门控硅场发射器件的设计,制造和表征
机译:在单个制造步骤中生成自对准SiO2 / Ge / SiO2 / SiGe栅堆叠异质结构的独特方法
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