公开/公告号CN104764903A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京卓锐微技术有限公司;
申请/专利号CN201410008477.4
申请日2014-01-08
分类号G01P15/125(20060101);
代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;
代理人孙皓晨
地址 100191 北京市海淀区知春路23号量子银座1002室
入库时间 2023-12-18 09:43:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-24
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01P15/125 申请公布日:20150708 申请日:20140108
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/125 申请日:20140108
实质审查的生效
2015-07-08
公开
公开
机译: 电容式微机械传感器结构和微机械加速度计
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