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一种振梁电容式硅微加速度计的设计与分析

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摘要

从对硅微加速度计的材料特性、微结构特性研究着手,通过对现有类型加速度计进行分析与整合,设计出一种新的硅微结构及与之匹配的微检测电路,最后通过仿真表明该加速度计具有良好的功能特性.

著录项

来源
《沈阳理工大学学报》 |2004年第4期|31-34,30|共5页
作者
高奂文; 董慧颖;
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作者单位

沈阳理工大学,信息科学与工程学院,辽宁,沈阳,110168;

沈阳理工大学,信息科学与工程学院,辽宁,沈阳,110168;

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正文语种 chi
中图分类小型化、微型化;
关键词
硅微结构; 振梁; 悬臂梁; 检测电路;

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