电容式硅微加速度计系统的性能分析(英文)

摘要

介绍了微加速度计的工作原理,得出了不同方向上的加速度计的等效刚度.基于加速度计的集总模型分析,从能量和运动角度推导得出了加速度计的等效质量、精度和灵敏度的具体表达形式.从力学观点,总结了加速度计阻尼的影响因素.对开环和闭环加速度计系统的机械热噪声的特性和它们各自检测的动态范围进行研究后发现,电容式微加速度计的噪声主要由机械热噪声决定,并取决于加速度计系统的温度和阻尼.对闭环加速度计系统的测量结果表明,系统的精度可以达到mg数量级,量程为±50g的范围.