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公开/公告号CN104698222B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 东南大学;
申请/专利号CN201510083131.5
发明设计人 夏敦柱;高海珏;孔伦;
申请日2015-02-15
分类号G01P15/125(20060101);
代理机构32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙);
代理人柏尚春
地址 210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2楼
入库时间 2022-08-23 09:57:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-16
授权
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/125 申请日:20150215
实质审查的生效
2015-06-10
公开
机译: 电容式谐振腔微加速度计
机译: 集成单轴三轴微加速度计
机译: 微机械微加速度计,用于测量沿三个轴的加速度
机译:具有扭转悬架的高灵敏度z轴电容式硅微加速度计
机译:减少三轴电容式微加速度计梳状驱动中的主动间隙,以增强感测电容和灵敏度
机译:用于三轴电容式微加速度计的微功率前端
机译:新型硅三轴谐振微加速度计
机译:用于电容式微加速度计的低噪声CMOS接口。
机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微加速度计
机译:三轴表面微加工硅电容式加速度计的低频噪声测量
机译:Inas / Gasb / alsb材料系统中谐振带间隧穿二极管和高电子迁移率晶体管的单片集成;杂志文章