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曹新平; 张大成; 黄如; 张兴; 王阳元;
北京大学微电子所;
三轴差分电容式硅微加速度计; 偏轴灵敏度; 有限元模拟; 模态; 压膜阻尼;
机译:单片三轴微克微加工硅电容式加速度计
机译:用于电容式三轴微加速度计的微功率接口ASIC
机译:具有扭转悬架的高灵敏度z轴电容式硅微加速度计
机译:具有微g分辨率的单片式三轴硅电容式加速度计
机译:高灵敏度,低噪声,多轴电容式微加速度计。
机译:基于硅晶片蚀刻工艺的MEMS微克电容式加速度计
机译:三轴表面微加工硅电容式加速度计的低频噪声测量
机译:评估压阻式加速度计的单轴和三轴冲击隔离技术。
机译:微加工电容式横向加速度计装置和具有该装置的整体式三轴加速度计
机译:微加工电容式侧向加速度计和单相,三轴加速度计具有相同的功能
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