College of Mechanical Electrical Engineering Henan Agriculture University Zhengzhou 450002 Henan Province P.R.China;
capacitive silicon micro-accelerometer; signal noise ratio; linearity and resolution; static and dynamic noisetest;
机译:高灵敏度硅电容式传感器,用于测量中等真空气压
机译:高灵敏度硅电容式传感器,用于测量中等真空气压
机译:具有扭转悬架的高灵敏度z轴电容式硅微加速度计
机译:高灵敏度电容硅微型加速度计
机译:高灵敏度,低噪声,多轴电容式微加速度计。
机译:使用功能性聚合物与TiO2微粒混合的高灵敏度低滞后多孔MIM型电容式湿度传感器
机译:电容式微加速度计的低频噪声测量和分析:温度效应