一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构及其制造方法，属于MEMS封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构，包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底；所述薄膜封帽与承载衬底间设有用于容纳MEMS结构的腔体，所述腔体中收纳有MEMS结构，所述MEMS结构与薄膜封帽或承载衬底相连；所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层及位于外侧的最终密封层，薄膜封帽通过其中的吸气剂层及最终密封层与承载衬底相连，并通过吸气剂层与承载衬底间形成腔体内壁；最终密封层位于吸气剂层外侧，并将MEMS结构密封于腔体内。本发明结构简单且新颖，能提升薄膜密封的MEMS器件的性能，适应范围广，安全可靠。