机译:工艺引起的应力和氢对单片集成BiCMOS-MEMS谐振器的影响
机译:应力双间隙RF MEMS变容二极管的性能和操作
机译:用于实现完全隔离,双高度MEMS金属结构的单个掩模过程,通过窄间隙分开
机译:一种新型双隙MEMS变容二极管,在完全集成的BICMOS-MEMS过程中制造
机译:使用电容传感器接口实时监视和表征RF MEMS开关和MEMS变容二极管。
机译:使用CMOS-MEMS技术制造集成有读出电路的聚苯胺纳米纤维氨传感器
机译:用于平行板RF MEMS变容二极管的CMOS电压至频率线性化预处理器