一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法

摘要

介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法.其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成.试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础.