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MEMS中薄膜热物性测试方法研究

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摘要

介绍关于薄膜热物性的测试方法,分析了各种方法的适用条件,并对一些方法所得的薄膜热物性作了汇总比较,旨在促进MEMS中薄膜热物性测试工作的进一步发展.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2003年第2期|6-11,14|共7页
作者
唐祯安; 黄正兴; 顾毓沁; 朱德忠;
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作者单位

大连理工大学电子工程系,辽宁,大连,116024;

大连理工大学电子工程系,辽宁,大连,116024;

清华大学工程力学系,北京,100084;

清华大学工程力学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类理论;
关键词
薄膜; 热物性; 测试方法; MEMS;

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