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A NEW FABRICATION TECHNIQUE FOR INTEGRATING SILICA OPTICAL DEVICES AND MEMS

机译：一种集成硅光学器件和mEms的新型制造技术

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Karen E. Grutter; Anthony M. Yeh; Susant K. Patra; Ming C. Wu;
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年度 2015
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1. Anodic bonding of optical fibers-to-silicon for integrating MEMS devices and optical fibers [J] . Saran A., Abeysinghe DC., Flenniken R., Journal of Micromechanics and Microengineering . 2003,第2期

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3. A maskless etching technique for fabrication of 3D MEMS structures in SOI CMOS devices [J] . Mansoor Mohtashim, Haneef Ibraheem, De Luca Andrea, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2018,第8期

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