公开/公告号CN110470229A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN201910383662.4
申请日2019-05-09
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人舒艳君
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 15:16:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-19
公开
公开
机译: 用于测量凸块高度的装置,用于处理基板的装置,测量凸块高度的方法,以及存储介质
机译: 凸起高度测量装置,基板处理装置,凸块高度测量方法,存储介质
机译: 凸起高度测量装置,基板处理设备,凸块高度测量方法,存储介质