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机译:>硅氮化硅薄膜沉积脉冲微波等离子体辅助化学气相沉积 strong>
机译:脉冲微波等离子体辅助化学气相沉积法沉积氮化硅碳薄膜
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机译:N2 / CH4微波等离子体辅助化学气相沉积法初步合成氮化碳薄膜:放电和所得薄膜的表征
机译:电子回旋谐振等离子体增强化学气相沉积沉积硅氧氮薄膜的特性
机译:氮对微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜生长的影响
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积沉积氮化硅和氮氧化硅薄膜的材料结构和机械性能
机译:微波等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅晶体薄膜