Preliminary Synthesis of Carbon Nitride Thin Films by N2/CH4 Microwave Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition: Characterisation of the Discharge and the Obtained Films

著录项

• 来源
  《Plasma processes and polymers》 |2007年第1期|210-214|共5页
• 作者

  Paul Kouakou; ValÉrie Brien; Badreddine Assouar; Virginie Hody; Mohammed Belmahi; Henri N. Migeon; Jamal Bougdira;

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• 作者单位

  Laboratoire de Physique des Milieux IonisÉs et Applications (LPMIA) UMR CNRS 7040 FacultÉ des Sciences et Techniques UniversitÉ de Nancy Boulevard des Aiguillettes B.P. 239;

  F-54506 Vandoeuvre-lÈs-Nancy cedex France;

  Laboratoire de Physique des Milieux IonisÉs et Applications (LPMIA) UMR CNRS 7040 FacultÉ des Sciences et Techniques UniversitÉ de Nancy Boulevard des Aiguillettes B.P. 239;

  F-54506 Vandoeuvre-lÈs-Nancy cedex France;

  Laboratoire de Physique des Milieux IonisÉs et Applications (LPMIA) UMR CNRS 7040 FacultÉ des Sciences et Techniques UniversitÉ de Nancy Boulevard des Aiguillettes B.P. 239;

  F-54506 Vandoeuvre-lÈs-Nancy cedex France;

  Centre de Recherche Public Gabriel Lippmann DÉpartement Science et Analyse des Materiaux (SAM) 41 rue du Brill-L-4422 Belvaux Luxembourg;

  Laboratoire de Physique des Milieux IonisÉs et Applications (LPMIA) UMR CNRS 7040 FacultÉ des Sciences et Techniques UniversitÉ de Nancy Boulevard des Aiguillettes B.P. 239;

  F-54506 Vandoeuvre-lÈs-Nancy cedex France;

  Centre de Recherche Public Gabriel Lippmann DÉpartement Science et Analyse des Materiaux (SAM) 41 rue du Brill-L-4422 Belvaux Luxembourg;

  Laboratoire de Physique des Milieux IonisÉs et Applications (LPMIA) UMR CNRS 7040 FacultÉ des Sciences et Techniques UniversitÉ de Nancy Boulevard des Aiguillettes B.P. 239;

  F-54506 Vandoeuvre-lÈs-Nancy cedex France;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  carbon nitride films; microwave plasma assisted chemical vapour deposition (MPACVD); optical emission spectroscopy (OES); scanning electron microscopy (SEM); transmission electron microscopy (TEM);

  机译：氮化碳薄膜;微波等离子体辅助化学气相沉积（MPACVD）;光发射光谱法（OES）;扫描电子显微镜（SEM）;透射电子显微镜（TEM）;