机译:使用通过嵌入式掩模的背面曝光进行自对准还原光刻
机译:使用通过嵌入式掩模的背面曝光进行自对准还原光刻
机译:在X射线光刻中使用扩大的图案掩模在线条和空间图案形成中通过两次曝光极大地扩大了接近间隙(曝光方法向对称照明的演变)
机译:基于背面曝光技术的固体浸没干涉光刻实验分析
机译:衰减相移掩模上具有172nm和193nm背面洪水泛光的自对准电阻图案
机译:预测由于在吸盘过程中夹带颗粒而导致的极端紫外线光刻掩模的图案表面变形。
机译:伪灰度背面扩散光光刻技术的简单多级微通道加工
机译:自对准单曝光深X射线光刻