机译:具有厚膜印刷PZT传感器的微机械硅加速度计的设计与制造
机译:具有厚膜印刷PZT传感器的微机械硅加速度计的设计与制造
机译:硅微机械加工工艺与厚膜印刷锆钛酸铅钛酸盐致动器相结合,用于微机电系统
机译:基于PZT薄膜的微机械加速度计的制作与表征
机译:用于硅微机械传感器阵列的厚膜PZT传感器
机译:微机械电容式加速度计的设计与制造。
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计制作和悬浮实验
机译:微处理器实现了厚膜pZT /硅加速度计的自我验证
机译:硅体微机械加工,对称,退化振动显微镜,加速度计和传感器及其使用方法