基于厚膜混合集成的硅微机械加速度传感器

摘要

采用厚膜混合集成技术实现了硅微机械加速度传感器工程样机.介绍了厚膜混合集成电路工艺的原理和特点、传感器的结构和工作原理,研究了信号提取和处理方法,优化了反馈控制校正电路网络,利用电容转换专用集成电路,通过厚膜技术组装了工程样机.实验结果表明:该单片加速度传感器具有较高的精度和零偏稳定性.