关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题

摘要

由于负刚度等特殊问题,使叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统,并且负刚度较大地影响微加速度计工作稳定性.为此对加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究,推导出了在给定性能参数下,设计加速度计表头最小分辨率、最大量程的方法和理论计算公式.根据上述方法设计能更好地保证加速度计的工作稳定性.