退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:采用集成电气和机械封装的硅微机械加速度计
公开/公告号US6145380A
专利类型
公开/公告日2000-11-14
原文格式PDF
申请/专利权人 ALLIEDSIGNAL;
申请/专利号US19980205429
发明设计人 DOUGLAS C. MACGUGAN;
申请日1998-12-04
分类号G01P1/02;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:06:45
机译: 机电一体化包装的硅微加速度计