机译:硅基衬底上的多晶硅膜中注入物质的重新分布
polycrystailine silicon; diffusion; secondary ion mass spectrometry; ion implantation;
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机译:镧系元素离子注入对氮化硅膜中嵌入的硅纳米晶体光致发光的影响。
机译:直接播种超薄碳膜的生长硅基衬底
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机译:冶金硅衬底上的硅薄膜 - 阶段II。专题报告第3号。薄膜多晶硅太阳能电池的稳定性