polycrystalline silicon; diffusion; secondary ion mass spectrometry; ion implantation;
机译:硅基衬底上的多晶硅膜中注入物质的重新分布
机译:在玻璃基板上制备的离子注入多晶硅薄膜的活化
机译:TEM调查高质量射频硅基板的多晶硅薄膜/基板界面的作用
机译:硅衬底上多晶硅薄膜中植入物种的再分配
机译:薄膜晶体管应用的多晶硅/电介质/衬底材料系统:材料特性对晶体管性能和可靠性的影响。
机译:玻璃基板上的多晶硅ISFET
机译:高温制造硅植入P通道多晶硅薄膜晶体管的电特性研究
机译:冶金硅衬底上的硅薄膜 - 阶段II。专题报告第3号。薄膜多晶硅太阳能电池的稳定性