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机译:氟注入和结晶非晶硅膜上制造的顶栅多晶硅薄膜晶体管的特性
Chien Kuo Yang; Tan Fu Lei; Chung Len Lee;
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机译:氮注入多晶硅膜上制造的顶栅薄膜晶体管的特性
机译:通过固相结晶获得的原位掺杂未氢化多晶硅薄膜制成的薄膜晶体管
机译:氮注入多晶硅膜上制造的薄膜晶体管的改进电特性
机译:一种新颖的非光刻方法制造纳米粒子及其在非晶硅薄膜结晶中的应用。
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机译:通过固相结晶获得的原位掺杂未氢化多晶硅薄膜制造的薄膜晶体管
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机译:利用相同方法制造的多晶硅薄膜来制造多晶硅薄膜和薄膜晶体管的方法
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