摘要:阵列波导光栅(AWG:Arrayed Waveguide Grating)以其独特的优点广泛应用于光纤通信系统,然而材料及波导的双折射性会引起输出光信号产生很大的偏振相关频移(PDFS:Polarization Dependent Frequency Shift),严重影响了AWG的性能,因此消除AWG的偏振敏感性显得必不可少.本文首先采用在AWG阵列波导中间插入半波片的偏振模式转换法,利用半波片的主轴和波导表面成45°角,实现TM和TE偏振态的反转,从而降低AWG偏振敏感性;实验结果表明此方法使AWG的PDFS减小到50pm.本文还利用双折射率与阵列波导宽度的关系,适当调节AWG阵列波导宽度的偏振补偿的方法降低偏振敏感性;模拟结果表明此方法使AWG的PDFS小于0.1pm,而在波导宽度的制备工艺容差为0.1um时,AWG的PDFS小于±2pm.