摘要：绝缘陶瓷氮化硅材料物理、化学性能优异,在工程领域应用越来越广泛。针对绝缘陶瓷氮化硅辅助电极法往复走丝线切割加工过程中维持电压变化较大的情况,对加工表面导电层进行了研究。观察在煤油中往复走丝线切割加工绝缘陶瓷氮化硅和铜的放电电压、电流波形,通过在加工铜的放电回路中串联电阻的方法,进行了对比模拟试验。对表面导电层的电阻成因进行了分析,通过对比实验,观察在乳化液和煤油中线切割加工铜时的加工表面。发现在煤油工作液中加工时,阳极表面会附着碳层,而在乳化液介质中已加工表面无碳黑层。另一方面,火花放电产生的高温使得在放电区域混杂很多物质,包括碳、硅、氢等。本文探讨分析了辅助电极法往复走丝电火花线切割加工氮化硅陶瓷材料时表面发生的物理、化学变化。得出表面导电层主要成分为C、SiC以及其他杂质的结论,这主要是间隙放电高温使煤油热裂解、氮化硅发生物理化学变化的产物。
