机译:减轻工艺变化对3D集成电路性能的影响
Department of Electrical and Computer Engineering, University of Waterloo, Waterloo, Canada|c|;
3-D integrated circuits; CMOS process; VLSI; electronic design automation; process variations;
机译:片上互连对通过硅通孔的3D集成电路性能的影响:第一部分
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