机译:使用多孔硅层蚀刻的ZnO / Si复合膜结构的薄膜体声波谐振器的制造
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:边界框架法抑制千兆赫兹ZnO薄膜体声波谐振器中的寄生谐振:建模与实验
机译:使用W / SiO / sub 2 /多层反射器的ZnO基薄膜体声谐振器器件的制造
机译:通过使用ZnO / Al_2O_3 / SiO_2的多层结构的1.8GHz系列膜散装声波谐振器的应力调整和特性改进
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:集成换能器的多孔硅体声波谐振器
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的制造,与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/