一种带有蚀刻停止层的横向激励的薄膜体声波谐振器

摘要

公开了一种声谐振器器件和方法。声学谐振器包括一衬底，衬底具有一表面和一单晶压电板，单晶压电板具有正面和背面。一蚀刻停止层，夹设在所述衬底的表面和所述压电板的背面之间，所述压电板的一部分和所述蚀刻停止层形成横跨所述衬底的空腔的隔膜。一叉指式换能器(IDT)，其在所述单晶压电板的正面上形成，且所述IDT的交错指状物设置在所述隔膜上。所述蚀刻停止层对于用于形成所述空腔的蚀刻工艺是不可渗透的。