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高杨; 周斌; 何移; 何婉婧;
中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900;
西南科技大学信息工程学院,四川绵阳621010;
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044;
射频微电子机械系统; 薄膜体声波谐振器; 频率漂移; 温度系数; 稳定性; 有限元分析;
机译:板厚模式体声波谐振器的温度补偿分析
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的局部质量灵敏度的分析和有限元建模
机译:基于AIN的薄膜体声波谐振器检测各种自组装单分子层
机译:将二氧化硅薄膜用于温度补偿的体声和表面声波器件的生产问题
机译:声微流PZT换能器和温度补偿薄膜体声谐振器。
机译:蛋白质电泳的在具有聚丙烯酰胺的刷层的二氧化硅胶体晶体建模
机译:电子温度补偿硅体声波谐振器参考振荡器
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:压电声薄膜谐振器用作生物传感器的薄膜体声波谐振器具有压电陶瓷层,该压电陶瓷层具有压电陶瓷材料,其极性晶体轴相对于基板法线倾斜大约特定的倾斜角度
机译:体声波谐振器装置例如薄膜体声波谐振器,用于例如梯形滤波器。笔记本电脑,具有包括正温度系数的补偿层,用于补偿负系数的部分
机译:具有温度补偿装置和低声阻抗层的体声波谐振器装置包括:
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