基于ZnO薄膜的高频高Q值的高次谐波体声波谐振器(HBAR)

摘要

体声波谐振器由于在GHz具有较高的Q值而得到广泛关注.本文采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的蓝宝石基片上制备了高次谐波体声波谐振器(High-Overtone Bulk Acoustic Resonator-HBAR).通过X射线衍射和射频网络分析仪,对制备的体声波器件进行了测试分析.在2.4GHz附件器件出现最大谐振.根据谐振器的一维Mason等效电路模型,利用射频仿真软件(Advanced Design System,ADS)对HBAR谐振器进行了仿真,结果表明理论分析结果与实测值基本一致,本文制备的高次谐波体声波谐振器在原子钟和跳频雷达中的低相噪振荡器中具有潜在应用价值。