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【2h】

Thin-film bulk acoustic wave resonators (FBAR) fabrication, heterogeneous integration with CMOS technologies and sensor aplications /

机译：薄膜体声波谐振器（FBAR）的制造，与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/

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机译：可搜索的TDX LED

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作者
Campanella Pineda Humberto;
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年度 2008
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原文格式 PDF
正文语种 eng
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专利

1. High-frequency sensor technologies for inertial force detection based on thin-film bulk acoustic wave resonators (FBAR) [J] . Humberto Campanella, Jose Antonio Plaza, Josep Montserrat, Microelectronic Engineering . 2009,第4a6期

机译：基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的用于惯性力检测的高频传感器技术
2. Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR) [J] . Campanella H., Martincic E., Nouet P., Sensors Journal, IEEE . 2009,第8期

机译：薄膜体声波谐振器（FBAR）的局部质量灵敏度的分析和有限元建模
3. Localized-mass detection based on thin-film bulk acoustic wave resonators (FBAR): Area and mass location aspects [J] . Campanella H, Uranga A, Romano-Rodriguez A, Sensors and Actuators, A. Physical . 2008,第1期

机译：基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的局部质量检测：面积和质量位置方面
4. Comparative design of extremely low phase noise oscillator in Class-B and Class-C by integrating film bulk acoustic resonator (FBAR) on CMOS wafer for low power applications [C] . Ramesh K. Pokharel, G. Zhang, S. Amalina, IEEE MTT-S International Microwave and RF Conference . 2015

机译：通过将膜体声波谐振器（FBAR）集成在CMOS晶片上以实现低功耗应用，可对B类和C类极低相位噪声振荡器进行比较设计
5. MEMS-based system for particle exposure assessment using thin-film bulk acoustic wave resonators and IR/UV optical discrimination. [D] . Black, Justin Phelps. 2006

机译：基于MEMS的系统，用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
6. Dual-Mode Gas Sensor Composed of a Silicon Nanoribbon Field Effect Transistor and a Bulk Acoustic Wave Resonator: A Case Study in Freons [O] . Ye Chang, Zhipeng Hui, Xiayu Wang, 2018

机译：由硅纳米带场效应晶体管和体声波谐振器组成的双模式气体传感器：以氟利昂为例
7. Effects of aspect ratio on the mode couplings of thin-film bulk acoustic wave resonators [O] . Nian Li, Zhenghua Qian, Jiashi Yang 2017

机译：纵横比对薄膜体声波谐振器模耦合的影响

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